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    2023-7-20

胡总
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与蒸发沉积不同,原子层沉积 (ald) 的源材料不需要从固体中蒸发,而是直接以气体的形式提供。尽管使用了气体,但在真空室中仍然经常使用高温。在 ald 过程中,前体以非重叠脉冲的形式传递,每个脉冲都具有自限性。该过程的化学设计使得只有一个单一的层可以依附每个脉冲,表面的几何形状不是---因素。由此可对层厚度和设计实现非凡的控制。



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